Seramik Elektrotlar çok daha geniş ve güvenli bir sıcaklık aralığında çalışabilmektedir. Seramik elektrot aktif maddelerden imal edilerek  yüksek sıcaklıklarda (2000⁰C’den yüksek) bozulma ve yanma riskini azaltan aktif maddeden oluşur.

Seramik elektrotlar metalize edilmiş filmlerde yüzey bombardımanını işlemden geçirebilmektedir. Seramik elektrotlar kullanılırken fizikel hasar ve darbelere karşı korunmalıdır yoksa elektrot için geri dönüşümü olmayan sonuçlara yol açar.